南台灣創新園區即將於99年5月28日（五）AM09:00~AM12:00，在該區服務館201教室(台南科技工業區工業二路31號)辦理「CMOS製程測試鍵暨軟性微機電技術研討會」。

微機電（MEMS）的高性能與小型化特徵為電子產品實現許多過去未有的創新應用，例如MEMS麥克風、加速度計…等，均已廣泛使用於消費性電子產品並引發一波波創新應用的熱潮。以台灣半導體產業環境成熟完備為基礎，將MEMS技術導入CMOS製程後，除可依循同一標準CMOS製程進行MEMS元件設計外，同時也促使MEMS走向在體積與成本上更具競爭力的SoC單晶片。因此，本研討會特別邀請國立宜蘭大學胡毓忠教授，就目前在MEMS元件設計上仍缺乏的CMOS製程機械材料特性，分享如何以測試鍵技術擷取CMOS製程各層材料機械性質。

另一項逐漸受到業界矚目的則是軟性微機電感測器及致動器技術於生醫及觸控感測方面之應用，特別邀請國立台灣大學施文彬副教授進行技術分享，祈藉由此場技術研討會，做為產學研相關單位技術研習及交流的管道，敬邀各位先進共同參與。

本課程主辦單位：主辦單位：經濟部技術處；執行單位：經濟部南台灣創新園區、工研院南分院微系統科技中心，歡迎踴躍參加，一同交流與探討。欲報名參加本課程者洽詢窗口：工研院南分院吳佩霖Tel：(06)3847068，e-mail：Vivian-wu@itri.org.tw